Han Qiang Qiang 258035acb6 修改PM管道气路图		2024-03-19 16:40:11 +08:00
Modules/Mainframe	启用屏蔽的Coating生长方法	2024-03-01 14:28:43 +08:00
SicRT	版本号更新至 ## Version 1.3.0.40308	2024-03-08 08:49:13 +08:00
SicSetup/Sic_Setup	修正安装文件中错误包含_AccountEx.xml的问题。	2024-01-18 09:06:07 +08:00
SicSimulator	更新库文件3730cfab，优化DataTraceManager上机后报缓存数据频繁的问题；优化磁盘空间监测和报警逻辑；优化AO的ImmCache逻辑。	2024-01-16 18:08:21 +08:00
SicUI	修改PM管道气路图	2024-03-19 16:40:11 +08:00
ThirdParty/MECF.Framework	更新dll [a5063fc]，侧壁加热切回到Pyro前，检测上一步是不是Pyro，不是Pyro，对L3进行温度赋值	2024-03-07 17:56:12 +08:00
.gitattributes	Add .gitattributes and .gitignore.	2023-03-03 15:42:00 +08:00
.gitignore	移除PM Heater视图中配置PSU2输出限制的功能。	2023-08-04 16:08:55 +08:00
SicAutoGE.sln	解决方案更名为SicAutoGE，以标识此项目针对含EFEM的自动设备。	2023-07-03 16:07:32 +08:00