DESKTOP-1N1NK8A\auvkk 45b88dd8eb 更新库文件以引用新的三色灯对象。 ... 修改PM1和PM2点表，以支持PLC的三色灯蜂鸣器闪烁频率设置。 修改PM1和PM2设备配置文件，以支持新的三色灯功能。		2023-05-05 11:42:39 +08:00
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PM	更新库文件以引用新的三色灯对象。	2023-05-05 11:42:39 +08:00
Recipe/Sic	添加Coating生长功能	2023-04-23 14:18:42 +08:00
TM	移除Cassette被拿掉后自动删除Wafer和Tray信息的功能，以修正主界面Reset按下时，Wafer和Tray会被自动清除的问题。	2023-04-23 18:24:11 +08:00