Cassettes
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删除久的Coating,修改加热配置项数据类型
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2023-06-01 16:56:20 +08:00 |
Config
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更新库文件094abb3,修正Recipe保存的一些问题。
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2023-10-25 16:46:33 +08:00 |
Devices
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1.修改Load 旋转电机CCD位置逻辑
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2023-08-10 16:35:52 +08:00 |
EFEMs
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1.自动设备增加inch类型参数选项
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2023-10-24 15:29:21 +08:00 |
LLs
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1.取消Load Servo压力Pump延时
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2023-09-06 15:48:27 +08:00 |
PMs
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1.解决MFC ROR测试重做上次MFC ROR流程的问题
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2023-10-25 08:53:01 +08:00 |
Properties
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Add project files.
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2023-03-03 15:42:13 +08:00 |
TMs
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1.优化Purge和Vent可能出现的问题
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2023-10-24 09:58:50 +08:00 |
UnLoads
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修改 新增的data项 数据库不保存
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2023-10-03 09:08:02 +08:00 |