Cassettes
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删除久的Coating,修改加热配置项数据类型
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2023-06-01 16:56:20 +08:00 |
Config
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修改ProcessDeviceItem注册项名称
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2023-12-15 10:19:10 +08:00 |
Devices
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添加IoN2HighDoping类,配置气阀控制PN2气体
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2023-11-19 12:17:29 +08:00 |
EFEMs
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1.修改一些错误
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2023-12-08 14:13:19 +08:00 |
LLs
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1.取消Load Servo压力Pump延时
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2023-09-06 15:48:27 +08:00 |
PMs
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修正Recipe中的C3H8设置项识别错误,全部默认到Purge的问题。
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2023-11-17 14:13:53 +08:00 |
Properties
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Add project files.
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2023-03-03 15:42:13 +08:00 |
TMs
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1.修改Purge中Vent超时时间
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2023-11-06 13:37:35 +08:00 |
UnLoads
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1TM和仿真添加DI-45,添加DI-45对应的Seneor
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2023-12-11 11:00:23 +08:00 |