Han Qiang Qiang e1b62ee617 自动传盘流程添加		2024-06-13 18:13:59 +08:00
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Base	1修改气阀打开不对应问题	2024-05-28 11:17:00 +08:00
EFEMHomeRoutine.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
EfemSlitValveRoutine.cs	修复 EFEM SlitValueRoutine 触发时提示文本缺失名称	2023-10-07 13:23:58 +08:00
TrayRobotHomeRoutine.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
TrayRobotMapRoutine.cs	1.Cassette不存在由Warning改为Alarm	2024-01-11 14:55:22 +08:00
TrayRobotPickRoutine.cs	1.Cassette不存在由Warning改为Alarm	2024-01-11 14:55:22 +08:00
TrayRobotPlaceRoutine.cs	自动传盘流程添加	2024-06-13 18:13:59 +08:00
WaferRobotHomeRoutine.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
WaferRobotMapRoutine.cs	1.Cassette不存在由Warning改为Alarm	2024-01-11 14:55:22 +08:00
WaferRobotPickRoutine.cs	自动传盘流程添加	2024-06-13 18:13:59 +08:00
WaferRobotPlaceRoutine.cs	1.Cassette不存在由Warning改为Alarm	2024-01-11 14:55:22 +08:00