Aligners
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修正AlignerAlignRoutine中未执行MTM指令导致执行BAL指令失败的问题。
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2023-05-18 18:33:11 +08:00 |
Cassettes
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删除久的Coating,修改加热配置项数据类型
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2023-06-01 16:56:20 +08:00 |
Config
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更新公共库(Commit 678767e),增加PSU2输出限幅功能。
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2023-08-01 13:28:46 +08:00 |
Devices
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1.修改Load 旋转电机CCD位置逻辑
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2023-08-10 16:35:52 +08:00 |
EFEMs
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将寻边器所属Module改为EFEM。
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2023-05-18 17:43:50 +08:00 |
LLs
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1.Load和Unload Purge增加Vent超时时间
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2023-08-10 14:32:17 +08:00 |
PMs
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1.PM Purge超时时间设置为600s
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2023-08-10 11:09:24 +08:00 |
Properties
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Add project files.
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2023-03-03 15:42:13 +08:00 |
TMs
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TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时,参考PM腔漏检的延时调用时机
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2023-07-18 15:51:57 +08:00 |
UnLoads
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1.Load和Unload Purge增加Vent超时时间
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2023-08-10 14:32:17 +08:00 |
SicModules.csproj
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修改PM2对应的真值表配置名称
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2023-07-17 17:18:38 +08:00 |