HCL 4a4148254e 1.ProcessIdle前增加闸板阀关闭检查		2024-02-02 13:28:04 +08:00
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Aligners	更新库文件（Commit 90fa346），优化HiWin Aligner执行命令错误后的信息。	2023-08-22 17:56:16 +08:00
Buffers	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00
Cassettes	删除久的Coating，修改加热配置项数据类型	2023-06-01 16:56:20 +08:00
Config	1.do改为di	2024-02-01 14:20:00 +08:00
Devices	添加IoN2HighDoping类，配置气阀控制PN2气体	2023-11-19 12:17:29 +08:00
EFEMs	1.Cassette不存在由Warning改为Alarm	2024-01-11 14:55:22 +08:00
LLs	1.取消Load Servo压力Pump延时	2023-09-06 15:48:27 +08:00
PMs	1.ProcessIdle前增加闸板阀关闭检查	2024-02-02 13:28:04 +08:00
Properties	Add project files.	2023-03-03 15:42:13 +08:00
TMs	1.解决一些问题	2024-01-15 08:48:28 +08:00
UnLoads	1.UnloadServo超时时间可配置	2023-12-28 15:44:49 +08:00
SicModules.csproj	更新测试版本号	2023-12-15 14:43:12 +08:00