Han Qiang Qiang 8fb7a84308 更新dll [2cdf762]，修改MFC5控制流程逻辑 ... 1.PM Device配置中使用库中类实例化MFC5控制流程 2.SC配置中添加参数，是否安装MFC5， PM.{module}.MFC.Mfc5.IsInstalled 3.修改PM主界面显示，根据配置是否显示MFC5		2023-11-21 17:20:54 +08:00
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DeviceModelPM1.xml	更新dll [2cdf762]，修改MFC5控制流程逻辑	2023-11-21 17:20:54 +08:00
RealtimeGasFlowPM1.xml	修改气体流量C2H4配置	2023-11-14 14:03:18 +08:00
_ioDefinePM1.xml	C2H4修改为C3H8	2023-11-14 10:43:36 +08:00
interlockPM1.xml	1添加机械手真空	2023-11-15 13:23:35 +08:00