HCL 790d923aeb 1.实现ATM Mode		2024-03-29 08:54:58 +08:00
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Base	1.实现ATM Mode	2024-03-29 08:54:58 +08:00
TMHomeRoutine.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMLeakcheckRoutine.cs	TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时，参考PM腔漏检的延时调用时机	2023-07-18 15:51:57 +08:00
TMPressureBalanceRoutine.cs	1.进度更新	2024-03-28 13:24:05 +08:00
TMPumpRoutine.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMPurgeRoutine.cs	1.修改Purge中Vent超时时间	2023-11-06 13:37:35 +08:00
TMRobotExtendRoutine.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMRobotGoToRoutine.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMRobotHomeRoutine.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMRobotPickAndPlaceRoutine.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMRobotPickRoutine.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMRobotPlaceRoutine.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMRobotRetractRoutine.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMServoRoutine.cs	1.删除TMPidRoutine	2024-03-27 14:33:39 +08:00
TMSlitValveRoutine.cs	1.更新	2024-03-28 13:25:47 +08:00
TMVentRoutine.cs	修改TM vent超时问题，由于Routine流程中不区分慢充超时和快充超时，因此统一系统配置参数超时时间VentTimeout	2023-11-06 11:23:12 +08:00
TMVerifySlitValveRoutine.cs	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00