SIC1016\caipeilun 97e4412900 新增ModuleStatusIndicator控件，完善Interlock_Bypass功能。 ... 1.全局Interlock_Bypass改为TM/PM1/PM2三组独立 2.Interlock_bypass时界面三角提示 3.bypass时，无法online，无法进行process，但可以进入processidle		2023-08-31 15:43:26 +08:00
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Aligners	更新库文件（Commit 90fa346），优化HiWin Aligner执行命令错误后的信息。	2023-08-22 17:56:16 +08:00
Buffers	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00
Cassettes	删除久的Coating，修改加热配置项数据类型	2023-06-01 16:56:20 +08:00
Config	更新dll [52e48c6],	2023-08-28 15:01:27 +08:00
Devices	1.修改Load 旋转电机CCD位置逻辑	2023-08-10 16:35:52 +08:00
EFEMs	更新库文件（Commit 90fa346），优化HiWin Aligner执行命令错误后的信息。	2023-08-22 17:56:16 +08:00
LLs	1.Load Pump时不关闭TM Fast Pump阀	2023-08-10 16:51:27 +08:00
PMs	新增ModuleStatusIndicator控件，完善Interlock_Bypass功能。	2023-08-31 15:43:26 +08:00
Properties	Add project files.	2023-03-03 15:42:13 +08:00
TMs	新增ModuleStatusIndicator控件，完善Interlock_Bypass功能。	2023-08-31 15:43:26 +08:00
UnLoads	1.Load和Unload Purge增加Vent超时时间	2023-08-10 14:32:17 +08:00
SicModules.csproj	Merge branch 'feature/可编辑Routine' into develop	2023-08-24 11:26:21 +08:00