Cassettes
|
删除久的Coating,修改加热配置项数据类型
|
2023-06-01 16:56:20 +08:00 |
Config
|
Recipe中取消Pyro选项
|
2023-10-19 08:33:55 +08:00 |
Devices
|
1.修改Load 旋转电机CCD位置逻辑
|
2023-08-10 16:35:52 +08:00 |
EFEMs
|
更新库文件(Commit 90fa346),优化HiWin Aligner执行命令错误后的信息。
|
2023-08-22 17:56:16 +08:00 |
LLs
|
1.取消Load Servo压力Pump延时
|
2023-09-06 15:48:27 +08:00 |
PMs
|
1.PM K阀组增加V111控制
|
2023-10-18 11:46:15 +08:00 |
Properties
|
Add project files.
|
2023-03-03 15:42:13 +08:00 |
TMs
|
修复:
|
2023-10-09 17:33:31 +08:00 |
UnLoads
|
1.Load和Unload Purge增加Vent超时时间
|
2023-08-10 14:32:17 +08:00 |