Liang Su
eec1f6cc75
更改HiWin Aligner对象的所属Module,由EFEM改为Aligner,解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm,导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。 |
||
---|---|---|
.. | ||
Routines | ||
AlignerModule.cs | ||
AlignerModuleBase.cs |
Liang Su
eec1f6cc75
更改HiWin Aligner对象的所属Module,由EFEM改为Aligner,解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm,导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。 |
||
---|---|---|
.. | ||
Routines | ||
AlignerModule.cs | ||
AlignerModuleBase.cs |