.. |
Base
|
修正PostProcess、PMPostTransferRoutine和PMToProcessIdleRoutine中未正确设置PSU、SCR加热模式的问题。
|
2024-03-14 15:26:03 +08:00 |
EditableRoutine
|
1.可编辑Routine增加Hold选项
|
2023-08-28 10:03:13 +08:00 |
PMButttomSectionMoveRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
PMChamberMoveBodyRoutine.cs
|
1.PM Interlock中用DI-7代替DI-6
|
2023-07-05 13:34:33 +08:00 |
PMCleanRoutine.cs
|
1.修改Clean流程
|
2023-10-31 08:57:02 +08:00 |
PMExchangeMoRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
PMHomeRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
PMLeakCheckRoutine.cs
|
1.修改LeakCheck
|
2023-08-17 15:39:43 +08:00 |
PMMfcRorRoutine.cs
|
1.解决MFC ROR测试重做上次MFC ROR流程的问题
|
2023-10-25 08:53:01 +08:00 |
PMMfcValueTestRoutine.cs
|
1.解决更新Common库后导致数据库处理出现的报错
|
2023-07-10 18:29:20 +08:00 |
PMPcCalibrationRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
PMPostTransferRoutine.cs
|
修改int float数据类型不兼容
|
2023-06-02 10:28:20 +08:00 |
PMPrepareTransferRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
PMProcessAbortRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
PMProcessRoutine.cs
|
1.整理WaferInfoRt类
|
2023-08-10 15:56:27 +08:00 |
PMPumpRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
PMPurgeRoutine.cs
|
1.修改LeakCheck
|
2023-08-17 15:39:43 +08:00 |
PMServoToPressure.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
PMStopHeatEnableRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
PMToAtmIdleRoutine.cs
|
Update from svn. #93 #94
|
2023-04-21 15:02:06 +08:00 |
PMToIsolationRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
PMToProcessIdleRoutine.cs
|
修正PostProcess、PMPostTransferRoutine和PMToProcessIdleRoutine中未正确设置PSU、SCR加热模式的问题。
|
2024-03-14 15:26:03 +08:00 |
PMVacIdleRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
PMVentRoutine.cs
|
Update from svn. #93 #94
|
2023-04-21 15:02:06 +08:00 |