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SicMultiplate/SicRT/ReleaseNotes.md

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# Sic Auto-GE 系统更新历史记录
Auto-GE 自动通用版（适用有EFEM设备）
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## 下次发行备忘
- Bug修复
- 修正Recipe编辑器中FlowMode始终显示为Purge的问题
-
- 新特性
- 无
## Version 1.3.1.115
**2024-05-07**
- Bug修复
- 1.修正Interlock有时不起作用的BUG
-
- 新特性
- 1.在PreProcess、Procss、PostProcess过程中检查对应的DO-PreProcessRunning、DO-ProcessRunning、DO-PostProcessRunning信号，
- 若为false则PM宕机
## Version 1.3.1.114
**2024-04-25**
- Bug修复
- 修正TC从Power切换到Pyro模式时，没有Ramp到目标温度的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.3.1.112
**2024-04-25**
- Bug修复
- 修正TC1和TC2在Pyro模式时设置目标温度，直接Jump而不是Ramp的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.3.1.103
**2024-04-24**
- Bug修复
- 修正AutoTranfer时TMRobot不取Buffer中已用完次数的Tray的问题
- 修正首次安装时Recipe Step权限为None导致不可见问题
- 修正PM Clean和Purge流程问题
- 修正Interlock有时存在不起作用的问题
- 新特性
- 增加2704 PID调节幅度限制，进入Pyro模式时自动启用PID调节幅度限制
- PM ProcessAbort增加将PSU和SCR设置为Power模式
- 增加PM在PreProcess,Process,PostProcess状态下不能降隔热罩的功能
## Version 1.3.1.40409
**2024-04-09**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 温度滤波器MAF的最大时间改为120s
## Version 1.3.1.40408
**2024-04-08**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 温度传感器增加滤波算法，并可配置为使用滤波后的温度作为PID反馈
## Version 1.3.1.40319
- Bug修复
- 修正RT启动时，PM DO-0互锁可能错误触发并产生警告的问题
- 修正PMProcess页面中编辑Recipe并保存后，无法更新工艺中的Recipe的问题
- 新特性
- 工艺结束蜂鸣器提示时机可配置为Job结束，或Wafer结束
- V43、V48手动打开时，检查当前载气是否为H2
- TrayRobot Home增加夹爪夹紧，判断信号再打开功能
- PM设置蝶阀位置和压力前判断EPV2是否打开
- 修改ATM传盘模式流程
- 修改PM Routine有关超时时间和压力到达条件判断
- 修改传盘逻辑
## Version 1.3.1.40314
- Bug修复
- 修正PM进入ProcessIdle、PostProcess和PostTransfer状态时，PSU和SCR加热模式可能设置错误的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.3.0.40314
- Bug修复
- 修正PM进入ProcessIdle时，PSU和SCR的加热模式可能设置错误的问题
- 新特性
- PM腔体和管道压差，在工艺过程中检测，报警等级可配置
## Version 1.3.0.40308
- Bug修复
- 侧壁加热切回到Pyro前，检测上一步是不是Pyro，不是Pyro，对L3进行温度赋值
- 新特性
- 无
## Version 1.3.0.40306
- Bug修复
- 屏蔽上升沿对温度数据赋值
- 新特性
- 修改寻边器界面汉化
## Version 1.3.0.40304
- Bug修复
- 修正PyroFollow模式下PSU1和PSU3没有跟随PSU2的问题。
- 新特性
- 无
## Version 1.3.0.40229
- Bug修复
- 修复配置Maintain不生效的问题
- 新特性
- 触发部分按钮时，会触发MultiProcess提示，确认后继续进行动作
- MultiProcess暂时不限制Process数量（测试断线）
- 通讯周期修改为5s
## Version 1.3.0.40226
- Bug修复
- 修正TM、PM IO列表加载慢的问题
- 修正Operation Log的Filter全不选时查询，所有按钮变灰的问题
- 修正设备后台扫描函数Monitor()调度过于频繁的问题，限制到100Hz
- 新特性
- 新增当RT启动时，阻止系统自动休眠和关闭显示器的功能
- 新增数据库所在磁盘空间监测功能，剩余空间不足时报警
- 改进Data Trace工具，可捕获DO和AO的跳变
- 汉化功能
- 电子维护功能
- 版本号最后一位修改，例如40226，表示含义此版本生成于24年02月26日
## Version 1.1.4.21
**2024-02-02**
- Bug修复
- 无
- 新特性
-1.ProcessIdle前增加闸板阀关闭检查
-2.Process前增加闸板阀关闭检查
-3.隔热罩升起时检测TMRobot Extend Enable信号
## Version 1.1.4.20
**2024-02-01**
- Bug修复
- 1.添加TM DO09、DO11、DO13、DO15与DI-31的互锁
- 新特性
-
## Version 1.1.4.19
**2024-01-25**
- Bug修复
- 1.Robot的状态提示Warning改为Info
- 新特性
-
## Version 1.1.4.18
**2024-01-23**
- Bug修复
- 修正EFEM Aligner 功能按钮不生效的问题
- 新特性
- EFEM界面Aligner 功能可以显示参数，Simulator对新的Aligner指令进行响应
- PC报警无输出内容，添加配置项
## Version 1.1.4.17
**2024-01-18**
- Bug修复
- 修正安装文件中错误包含_AccountEx.xml的问题
- 新特性
- 优化Process历史记录查询
- 控件模块是否在线禁用右击菜单和拖拽，修改模块PM1,PM1,Load,UnLoad
## Version 1.1.4.16
**2024-01-15**
- Bug修复
- 修改PM和TM闸板阀，打开和关闭时的检测逻辑
- 取Wafer时判断Buffer和Cassette里是否有对应的Tray
- Cassette不存在由Warning改为Alarm
- PM CoolingWater U4 D0-195，配置项修改
- 新特性
- 无
## Version 1.2.1.40117-preview
**2024-01-17**
- Bug修复
- 修正DataTrace缓存过频繁导致弹出Debug窗口的问题
- 新特性
- 优化DataTrace中AO的跳变捕获逻辑，当系统配置设置为禁用、或DB磁盘剩余空间小于20GB时被禁用
- 新增当RT启动时，阻止系统自动休眠和关闭显示器的功能
- 新增数据库所在磁盘空间监测功能，剩余空间不足时报警
## Version 1.2.0.40115-preview
**2024-01-15**
- Bug修复
- 修正IO列表加载慢的问题
- 修正Operation Log的Filter全不选时查询，所有按钮变灰的问题
- 新特性
- 引入高性能Data Trace工具，可捕获DO和AO的跳变
- 优化BaseDevice及其子类的Monitor()调度频率，限制在100Hz
- AOAccessor的Value统一使用float型，不再判断short型
## Version 1.1.4.15
**2024-01-09**
- Bug修复
- 修正多次Logout、Login操作后，UI会变卡顿的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.1.4.14
**2024-01-05**
- Bug修复
- 修改TMRobot Pick Buffer1层条件判断的BUG
- 新特性
- ReturnAll里Unload冷却时间定为300s
## Version 1.1.4.13
**2023-12-28**
- Bug修复
- 修正工艺结束后，蜂鸣器提示无法自动关闭的问题
- 修正加载Interlock配置文件时，引发集合枚举时发生变化的异常的问题
- 新特性
- VT阀添加Reset功能
## Version 1.1.4.12
**2023-12-28**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- VT阀添加Reset功能
## Version 1.1.4.11
**2023-12-22**
- Bug修复
- 蝶阀StopRame改成将计时器停止
- 新特性
-
## Version 1.1.4.10
**2023-12-15**
- Bug修复
- InterlockManager中Monitor扫描忽略翻转时，键值对集合中不包含对象时，continue当前循环
- 新特性
- 添加ProcessHistory历史记录查询
- 重新整理测温部分
## Version 1.1.4.9
**2023-12-11**
- Bug修复
-
- 新特性
- TM和仿真添加DI-45点位,TM添加DI-45对应的Seneor
- 在UnLoadSeparateRoutine中添加DI-45检测逻辑
- 在SC UnLoad中配置SeparationLog报警等级
## Version 1.1.4.8
**2023-12-08**
- Bug修复
- 修正删除和另存为Recipe时，弹出空对话框的问题
- 修正新建Recipe时，默认保存上个打开的Recipe的内容的问题
- 修正Sequence编辑器中的Recipe文件名中没有显示其所在文件夹名称的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.1.4.7
**2023-11-27**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- PM新增DO-128 Interlock
- 添加Recipe快照压缩保存+历史数据选择对比
## Version 1.1.3.6
**2023-11-23**
- Bug修复
- 修正工艺完成，Wafer回到Cassette后，三色灯没有提示的问题
- 修正DataLog查询日志时，时间排序可能错乱的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.1.3.5
**2023-11-23**
- Bug修复
- 修正工艺完成，Wafer回到Cassette后，三色灯没有提示的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.1.2.4
**2023-11-22**
- Bug修复
- 修正TrayRobot、LL、TM、PM无法手动拖放Tray的问题
- 新特性
- 系统配置增加MFC5是否安装的设置项
## Version 1.1.1.3
**2023-11-19**
- Bug修复
- 添加IoN2HighDoping类，配置气阀控制PN2气体
- 新特性
- 无
## Version 1.1.1.2
**2023-11-17**
- Bug修复
- 删除PM2中多余Interlock配置项
- 新特性
- 无
## Version 1.1.1.1
**2023-11-17**
- Bug修复
- 修正Sic6的Recipe中的C3H8设置项全部被解析为Purge的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.1.0.0
**2023-11-16**
- Bug修复
- 1.修改LineHater参数名称配置配置重复问题
- 2.解决WaferRobot会取3个同PM的Wafer问题
- 3.解决传盘过程中PM2存在的BUG
- 新特性
- 1.C2H4修改为C3H8，涉及到IO名称、Recipe显示项、PM主界面、气体流量真值表、SC配置的气体流量系数
- 2.Recipe新增MFC5
- 3.删除PM中DI-33门报警Interlock
- 4.隐藏Recipe保存到数据库
- 5.添加机械手真空开关，夹爪开关
- 6.启用Cassette下降沿信号删除Wafer信息功能
- 7.AutoTransfer中判断Tray是否从Buffer中传到Load,这时不需要Load Purge
## Version 1.2.0.0
**2023-11-14**
- Bug修复
-
- 新特性
- 气柜加热带温度监控，使用单通道参数设置，在SC配置中PM.PM1.GasBoxTemp PM.PM2.GasBoxTemp
## Version 1.1.32.53
**2023-11-02**
- Bug修复
-
- 新特性
- 气柜加热带温度监控，使用单通道参数设置，在SC配置中PM.PM1.GasBoxTemp PM.PM2.GasBoxTemp
## Version 1.1.32.52
**2023-10-26**
- Bug修复
- 修正当Recipe参数无法从格式模板中找到时，没有详细错误提示的问题
- 根据PM1的IO报警信息配置PM2配置，修改PM2水温报警
- PM offline 前加入install判断，未加载的PM腔不进行offline提示
- 删除PM的DI-29点位及报警信息
- 删除AE多余检测
- 新特性
- PM offline 前加入install判断，未加载的PM腔不进行offline提示
- 自动设备增加inch类型参数选项
- Recipe对比功能
## Version 1.1.31.51
**2023-10-20**
- Bug修复
- 修改部分data绑定不保存数据库
- 修复Interlock项: do-100 和 do-49触发前 di-9 必须为0
- 修复 EFEM SlitValueRoutine 触发时提示文本缺失名称
- 新特性
- 新增配置对比功能，每次开RT时提示配置修改项，并在配置界面显示修改过的内容，并可以回退配置
- 每次配置文件变更都有备份，也可从本地进行修复
- interlock表更新 不同腔体开门时需要判断两个腔体压差在范围内
## Version 1.1.31.50
**2023-10-20**
- Bug修复
- 新特性
- 新增伊顿eaton UPS配置及监控，可在DEVICE界面查看
## Version 1.1.31.49
**2023-10-19**
- Bug修复
- 新特性
- 添加昂坤双通道获取温度
- 昂坤添加测温参数可配置
## Version 1.1.31.48
**2023-10-18**
- Bug修复
- 新特性
- 删除PM Interlock配置的DI-29
- PM K阀组增加V111控制
## Version 1.1.31.46
**2023-09-15**
- Bug修复
- 新特性
- interlock_bypass分腔体单独控制
- interlock表更新
- 不同recipe的data曲线数据对比功能
-
------
## Version 1.1.30.46
**2023-09-15**
- Bug修复
- 电阻丝加热，当设置为Warning时Log不输出问题修改
- 修改气体流量统计
- 新特性
- 添加PLC断联后自动重连，
- 优化水温查询时对应的名称
- 优化Charting查询对比功能，新增曲线可以上下左右移动对比
## Version 1.1.29.45
**2023-08-28**
- Bug修复
- 修正TM MFC60的Feedback和SetPoint差异超限后没有报警的问题
- 修正Aligner操作失败后，Aligner模组没有Alarm的问题
- 新特性
- Mfc Ror测试增加可选择多个Mfc同时测试功能
## Version 1.1.29.44
**2023-08-15**
- Bug修复
-
- 新特性
- Mfc Ror测试增加可选择多个Mfc同时测试功能
## Version 1.1.29.43
**2023-08-03**
- Bug修复
- 修正DataLog重新查询数据曲线时，上次设定的Factor和Offset没有生效的问题
- 修复Recipe StepNo等工艺过程数据没有存储到数据库导致无法查询的问题
- 修正工艺过程数据（气体流量、耗电量）统计数值错误的问题
- 修正系统配置中缺少配置项导致程序无法执行的问题
- 修正 PM Operation视图中Heater电阻值显示精度不够的问题，现改为小数点后三位
- 新特性
- PM Process新增耗电量统计
- 移除PSU2控制输出幅度限制的功能
## Version 1.1.28.42
**2023-08-01**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- PM Operation视图增加加热器电阻值显示
- PM Process过程增加对加热器电阻值监测，当阻值超过上限后终止工艺
- PSU2增加控制量输出幅度限制，当温度超过1600度时，控制输出幅度限制到设定值
## Version 1.1.27.41
**2023-07-24**
- Bug修复
- 1.解决保存新列产生的问题
- 新特性
-
## Version 1.1.27.40
**2023-07-24**
- Bug修复
- 1.Mfc Ror属性Name增加DataMember
- 新特性
-
## Version 1.1.27.39
**2023-07-18**
- Bug修复
- 1.解决Mfc Ror测试的问题
- 新特性
- 重新整理数据库代码
## Version 1.0.26.38
**2023-07-03**
- Bug修复
- 修正升级软件时新增权限实际值和设置值不一致的问题
- 新特性
- Auto传盘逻辑更新为双腔传盘逻辑
## Version 1.0.25.37
**2023-07-03**
- Bug修复
- 修正TM和LL的LeakCheckRoutine无法执行的问题
- 修正PM气体流量计算时，修正系数未生效的问题
- 修正ProcessExit时的输出信息等级，由Warning更改为Info
- 修正ProcessMonitor窗口打开时，Logout时没有自动关闭该窗口的问题
- 新特性
- 优化旁路互锁打开时的执行逻辑
- 禁止手动启动工艺
- 禁止PM从Offline切换至Online
- 禁止PM退出Service模式
- LL Lid打开时输出信息等级由Warning更改为Info
- PM Process结束，磁流体转速将为0后的输出信息等级由Warning更改为Info
- 软件信息增加“Auto-GE”字串，指示当前版本为自动通用版
## Version 1.0.23.35
**2023-06-30**
- Bug修复
- 1:修正Seqence编辑器中无法保存Recipe的问题。
- 2:修正Recipe编辑器修改StepTime后不刷新总时间，以及加载Recipe后Validate按钮不显示错误参数数量的问题。
- 3:修正Recipe编辑器中的总时间显示不完全问题。
- 4:修正AbortRoutine()方法列队为空时调用Peek()方法导致异常的问题。
- 新特性
- 1:添加MFC+气阀测试功能
- 2:添加ROR测试功能
## Version 1.0.22.34
**2023-06-20**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:控制V94和V96阀时，对应的控制MFC设置为0
## Version 1.0.21.33
**2023-06-02**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:移植Coating
- 2:修改测温，添加兼容性参数配置
- 3:修正EFEM Online菜单标题显示为Buffer的错误
- 4:修改库文件，IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式
- 5:删除气阀和MFC联动功能，TM V60 , PM V96 V94
## Version 1.0.20.32
**2023-05-18**
- Bug修复
- 修正寻边器无法完成寻边操作的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.0.19.31
**2023-05-17**
- Bug修复
- 修正从WaferRobot从Aligner取Wafer后，Wafer被删除的问题
- 修正Wafer拖放确认对话框箭头过长的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.0.18.29
**2023-05-15**
- Bug修复
- 修正上银巡边器无法Home的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.0.17.28
**2023-05-15**
- Bug修复
- 修正PM2卸载后相关设备仍然报警的问题
- 修改PM主界面V87气阀鼠标悬浮绑定的提示
- 修正Recipe编辑界面上的一些小问题
- 新特性
- 从10号机移至最新的Aligner驱动程序
## Version 1.0.16.27
**2023-05-08**
- Bug修复
- 修正Alarm列表没有显示报警来源的问题
- 修正EventLog、系统配置表格单元格内容对齐问题
- 修正三色灯蜂鸣器手动关闭后，如果不按Reset按钮，则始终无法重新启用的问题
- 新特性
- 优化三色灯配置文件，现支持在配置文件中定义闪烁模式模板
- 新增三色灯配置文件实时生效功能，现在修改三色灯配置文件后不需要重启软件，保存后立即生效
## Version 1.0.14.25
**2023-05-05**
- Bug修复
- 修正信号塔蜂鸣器手动关闭后无法启用的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.0.14.25
**2023-05-05**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 优化三色灯控制效果
## Version 1.0.13.24
**2023-05-05**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 从PM腔取放Tray时根据系统配置确定PSU和SCR打开或关闭
## Version 1.0.13.23
**2023-04-26**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 传盘压力参数一键设置
## Version 1.0.13.22
**2023-04-23**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 优化参数项，删除多余参数
- 修改水温Offset选项
- 添加Coating增长率，Tray数量为参数配置
- 修改仿真初始值
## Version 1.0.13.21
**2023-04-20**
- Bug修复
- 修正PM未安装时，仍然会触发报警的问题
- 新特性
- 更当水温报警相关参数变化时，实时生效，而不需要重启软件
- PM Heater界面的SCR Lower AE温度显示移至PSU Inner AE显示位置
- 优化PM Heater界面布局，移除多余的项目
## Version 1.0.12.20
**2023-04-20**
- Bug修复
- 修正DataLog中的曲线图无法显示的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.0.11.19
**2023-04-19**
- Bug修复
- 修正水温报警输出DO的有效电平，当发生报警时，输出低电平
- 新特性
- 无
## Version 1.0.10.18
**2023-04-19**
- Bug修复
- 修正主界面中LOG下拉框可能被撑大的问题
- 修正报警时蜂鸣器被自动关闭的问题
- 新特性
- 主窗口新增系统信息按钮，可查看发现日志和系统依赖库的版本信息
- 新增MFC和PC报警功能
- 新增系统配置中PC报警阈值设置
- 新增水温超温警告和报警功能，可在系统配置中设置Warn偏移值，使Warn阈值可以跟随Alarm阈值变动
- 优化水温显示窗口，产生警告或报警的项目会显示为橙色或红色
- 重新整理水温相关的DO、AI和系统配置项名称
## Version 1.0.9.17
**2023-03-22**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 合并PM，生成时会有XML文件路径问题
## Version 1.0.8.16
**2023-03-22**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 合并上银Tray和Wafer机械手，Tary继承Wafer
## Version 1.0.7.15
**2023-03-20**
- Bug修复
- 修改PM1的InterLock,
- 修改报警信息
- 修改仿真
- 修改测温硬件默认参数配置
- 新特性
- 无
## Version 1.0.6.14
**2023-03-20**
- Bug修复
- 从上层调用处修改PM屏蔽功能，屏蔽初始化和文件加载
- 新特性
- 无
## Version 1.0.5.13
**2023-03-20**
- Bug修复
- 删除之前此功能修改的代码
- 新特性
- 关闭阀门时，先关闭MFC，同时关闭阀门，已修改TM的 V77和MFC60，PM的MFC32 35~38，
## Version 1.0.4.12
**2023-03-16**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 重新整理所有UI继承的UIViewModelBase类
## Version 1.0.3.11
**2023-03-15**
- Bug修复
- 修改TMPurgeRoutine和TMVentRoutine时无气流BUG
- 调试仿真修改TM和PM对应的InterLock，根据InterLock需要的IO，设置仿真IO的初始值
- 添加昂坤测温通讯和使用流程简介，方便后续人员了解昂坤硬件使用机制
- 新特性
- 无
## Version 1.0.2.10
**2023-03-14**
- Bug修复
- 修改TM PM 的InteiLock
- PM DI55 56 57报警触发条件，修改仿真相应的初始值
- 删除MP DI58
- 新特性
- 添加测温Inner，
- 使用数据为空次数判断昂坤断联
- 分别添加昂坤软件断联和USB断联提示
- 界面添加Inner绑定显示
- 设置昂坤显示温度下限，低于下限显示固定值400
## Version 1.0.1.9
**2023-03-14**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 重新整理优化三色灯控制
## Version 1.0.1.8
**2023-03-09**
- Bug修复
- 修改PM DI10 DI11 InterLock的触发值,修改PM DI10 报警触发值
- 新特性
- 修改TM的PurgeRoutine和VentRoutine中，修改打开关闭MFC60相关设置，添加延时
## Version 1.0.1.7
**2023-03-09**
- Bug修复
- 修改TM DI6 InterLock的触发值
- 新特性
- Aligner设置项,在初始化和设置后显示到界面是
## Version 1.0.1.6
**2023-03-08**
- Bug修复
- 修改InterLock
- 新特性
- 添加对UPS电源部分数据的采集
## Version 1.0.1.5
**2023-03-07**
- Bug修复
- 解决TMRobot向Unload Place过程中Unload可能PrepareTransfer的问题
- 新特性
- 无
## Version 1.0.1.4
**2023-03-06**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 新增昂坤测温，初步优化断联重连和提示
- 添加接口，整合AE和昂坤测温，上层调用
## Version 1.0.1.3
**2023-03-03**
- Bug修复
- 修正ENG模式下，一些页面没有显示ENG水印的问题。
- 新特性
- 无
## Version 1.0.1.2
**2023-03-03**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 增加ENG模式
## Version 1.0.1.1
**2023-03-01**
- Bug修复
- 屏蔽PM后，界面不隐藏，状态不更新，显示运行日志BUG修复
- 新特性
- 无
## Version 1.0.1.0
**2023-03-01**
- Bug修复
- 更新PM和TMinterlock信息，添加缺少的IO
- 新特性
- 无
## Version 1.0.0.9
**2023-02-28**
- Bug修复
- 根据Wafer夹爪信号让Load传Tray和Wafer信息，解决撞机风险
- 新特性
- Purge最大时间改为100000s
- PM Mfc14量程改为660
## Version 1.0.0.8
**2023-02-15**
- Bug修复
- 修改水路IO名称和Interlock
- 新特性
- 无
## Version 1.0.0.7
**2023-02-15**
- Bug修复
- 添加TM机械手报错信息解析
- 新特性
- 无
## Version 1.0.0.6
**2023-02-14**
- Bug修复
- 修正PM执行Recipe时报StepUid找不到执行函数的问题
- 新特性
- PM Purge结束增加是否打开
- 增加PM SCREnable Interlock
- 增加PM Service模式下不准切换Online
- ProcessAbort Rounite中增加等待MFC流量到达再往下执行
- ProcessAbort Routine中增加关闭V72，打开V25流程
- 优化电阻检测名称
- TM界面所有Module Online及Offline按钮权限放开
- 删除VacIdle参数
- 修改PM气路图的V72阀的气路走向错误
- 重新整理PM MO Change TMA/TCS Routine
- PM Vent及ToAtmIdle Routine MFC使用动态流量
## Version 1.0.0.5
**2023-02-13**
- Bug修复
- AE的历史数据从Charting拉不出来
- AE的数据不在PM模块，ProcessHistory中没有AE的数据
- 新特性
- 无
## Version 1.0.0.4
**2023-02-11**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- Overview界面中将TrayCassette从WaferCassette中分离，独立显示在界面右侧
## Version 1.0.0.3
**2023-02-09**
- Bug修复
- 修改Unload和TM共用泵Interlock问题
- 新特性
- 无
## Version 1.0.0.2
**2023-01-28 **
- Bug修复
- 优化HWinRobot通讯，执行Pick和Place指令之前先查询控制器ERR。
- 修正HwinRobot命令返回？后无法正确读取Error信息的问题。
- 新特性
- 无
## Version 1.0.0.1
**2023-01-28**
- Bug修复
- 修改权限相关默认值
- 新特性
- 无
## Version 1.0.0.0
**2023-01-11**
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 修改Unload和TM共用泵，涉及UI/Interlock及AutoRun流程
- 取消CoolingAndPurge Routine，Cooling和Purge分开
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