Liang Su
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更改HiWin Aligner对象的所属Module,由EFEM改为Aligner,解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm,导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。 |
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Routines | ||
EFEMModule.cs | ||
EFEMModuleBase.cs | ||
SicEFEM.cs | ||
SicTrayRobot.cs | ||
SicWaferRobot.cs | ||
TrayRobotModule.cs | ||
WaferRobotModule.cs |