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Base
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1:控制V94和V96阀时,对应的控制MFC设置为0
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2023-06-20 11:09:36 +08:00 |
LoadHomeRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
LoadLockClawRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
LoadLockGroupRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
LoadLockLeakCheckRoutine.cs
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TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时,参考PM腔漏检的延时调用时机
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2023-07-18 15:51:57 +08:00 |
LoadLockLiftRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
LoadLockPrepareTransferRoutine.cs
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1:控制V94和V96阀时,对应的控制MFC设置为0
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2023-06-20 11:09:36 +08:00 |
LoadLockPumpRoutine.cs
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1.Load Pump时不关闭TM Fast Pump阀
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2023-08-10 16:51:27 +08:00 |
LoadLockPurgeRoutine.cs
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1.Load和Unload Purge增加Vent超时时间
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2023-08-10 14:32:17 +08:00 |
LoadLockServoToRoutine.cs
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1:控制V94和V96阀时,对应的控制MFC设置为0
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2023-06-20 11:09:36 +08:00 |
LoadLockTrayAlignerRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
LoadLockTrayClawRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
LoadLockVentRoutine.cs
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1:控制V94和V96阀时,对应的控制MFC设置为0
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2023-06-20 11:09:36 +08:00 |
LoadRotationHomeOffsetRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
LoadSeparateRoutine.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |