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RecipeExecutions
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PM腔体和管道压差，在工艺过程中检测，报警等级可配置
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2024-03-14 09:52:29 +08:00 |
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Routines
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1.修正PM Clean和Purge流程问题
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2024-04-22 10:44:51 +08:00 |
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Utilities
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
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PM1.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
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PM2.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
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PMModule.cs
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1.保留小数后两位
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2024-03-11 17:43:22 +08:00 |
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PMModuleDevice.cs
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V43、V48开启是判断当前载气是否为氢气H2.
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2024-03-26 09:53:42 +08:00 |
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PMModuleInterlock.cs
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Mainframe工程更名为SicModules。
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2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
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