Liang Su eec1f6cc75 更新库文件（Commit 90fa346），优化HiWin Aligner执行命令错误后的信息。 ... 更改HiWin Aligner对象的所属Module，由EFEM改为Aligner，解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm，导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。		2023-08-22 17:56:16 +08:00
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Base	更新库文件（Commit 90fa346），优化HiWin Aligner执行命令错误后的信息。	2023-08-22 17:56:16 +08:00
AlignerAlignRoutine.cs	修正AlignerAlignRoutine中未执行MTM指令导致执行BAL指令失败的问题。	2023-05-18 18:33:11 +08:00
AlignerHomeRoutine.cs	修正AlignerAlignRoutine中未执行MTM指令导致执行BAL指令失败的问题。	2023-05-18 18:33:11 +08:00