Cassettes
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删除久的Coating,修改加热配置项数据类型
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2023-06-01 16:56:20 +08:00 |
Config
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1.do改为di
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2024-02-01 14:20:00 +08:00 |
Devices
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添加IoN2HighDoping类,配置气阀控制PN2气体
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2023-11-19 12:17:29 +08:00 |
EFEMs
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1.Cassette不存在由Warning改为Alarm
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2024-01-11 14:55:22 +08:00 |
LLs
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1.取消Load Servo压力Pump延时
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2023-09-06 15:48:27 +08:00 |
PMs
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1.ProcessIdle前增加闸板阀关闭检查
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2024-02-02 13:28:04 +08:00 |
Properties
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Add project files.
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2023-03-03 15:42:13 +08:00 |
TMs
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1.解决一些问题
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2024-01-15 08:48:28 +08:00 |
UnLoads
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1.UnloadServo超时时间可配置
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2023-12-28 15:44:49 +08:00 |
SicModules.csproj
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更新测试版本号
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2023-12-15 14:43:12 +08:00 |