SicMultiplate/Modules/Mainframe
SIC1016\caipeilun 9019666f02 修复 TM purge时 vent延时绑定错误 2023-10-10 09:05:59 +08:00
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Aligners 更新库文件(Commit 90fa346),优化HiWin Aligner执行命令错误后的信息。 2023-08-22 17:56:16 +08:00
Buffers 修改一些Routine的Start方法和Monitor方法,改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。 2023-04-20 16:52:42 +08:00
Cassettes 删除久的Coating,修改加热配置项数据类型 2023-06-01 16:56:20 +08:00
Config 修复Interlock项: do-100 和 do-49触发前 di-9 必须为0 2023-10-07 13:38:03 +08:00
Devices 1.修改Load 旋转电机CCD位置逻辑 2023-08-10 16:35:52 +08:00
EFEMs 修复 EFEM SlitValueRoutine 触发时提示文本缺失名称 2023-10-07 13:23:58 +08:00
LLs 1.取消Load Servo压力Pump延时 2023-09-06 15:48:27 +08:00
PMs 更新多用户登录机制: 2023-10-06 09:50:11 +08:00
Properties Add project files. 2023-03-03 15:42:13 +08:00
TMs 修复 TM purge时 vent延时绑定错误 2023-10-10 09:05:59 +08:00
UnLoads 修改 新增的data项 数据库不保存 2023-10-03 09:08:02 +08:00
SicModules.csproj Merge branch 'feature/可编辑Routine' into develop 2023-08-24 11:26:21 +08:00