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Sic Auto-GE 系统更新历史记录
Auto-GE 自动通用版(适用有EFEM设备)
Version 1.1.2.4
2023-11-19
- Bug修复
- 修正TrayRobot、LL、TM、PM无法手动拖放Tray的问题
- 新特性
- 系统配置增加MFC5是否安装的设置项
Version 1.1.1.3
2023-11-19
- Bug修复
- 添加IoN2HighDoping类,配置气阀控制PN2气体
- 新特性
- 无
Version 1.1.1.2
2023-11-17
- Bug修复
- 删除PM2中多余Interlock配置项
- 新特性
- 无
Version 1.1.1.1
2023-11-17
- Bug修复
- 修正Sic6的Recipe中的C3H8设置项全部被解析为Purge的问题
- 新特性
- 无
Version 1.1.0.0
2023-11-16
- Bug修复
- 1.修改LineHater参数名称配置配置重复问题
- 2.解决WaferRobot会取3个同PM的Wafer问题
- 3.解决传盘过程中PM2存在的BUG
- 新特性
- 1.C2H4修改为C3H8,涉及到IO名称、Recipe显示项、PM主界面、气体流量真值表、SC配置的气体流量系数
- 2.Recipe新增MFC5
- 3.删除PM中DI-33门报警Interlock
- 4.隐藏Recipe保存到数据库
- 5.添加机械手真空开关,夹爪开关
- 6.启用Cassette下降沿信号删除Wafer信息功能
- 7.AutoTransfer中判断Tray是否从Buffer中传到Load,这时不需要Load Purge
Version 1.2.0.0
2023-11-14
-
Bug修复
- 新特性
- 气柜加热带温度监控,使用单通道参数设置,在SC配置中PM.PM1.GasBoxTemp PM.PM2.GasBoxTemp
Version 1.1.32.53
2023-11-02
-
Bug修复
- 新特性
- 气柜加热带温度监控,使用单通道参数设置,在SC配置中PM.PM1.GasBoxTemp PM.PM2.GasBoxTemp
Version 1.1.32.52
2023-10-26
- Bug修复
- 修正当Recipe参数无法从格式模板中找到时,没有详细错误提示的问题
- 根据PM1的IO报警信息配置PM2配置,修改PM2水温报警
- PM offline 前加入install判断,未加载的PM腔不进行offline提示
- 删除PM的DI-29点位及报警信息
- 删除AE多余检测
- 新特性
- PM offline 前加入install判断,未加载的PM腔不进行offline提示
- 自动设备增加inch类型参数选项
- Recipe对比功能
Version 1.1.31.51
2023-10-20
- Bug修复
- 修改部分data绑定不保存数据库
- 修复Interlock项: do-100 和 do-49触发前 di-9 必须为0
- 修复 EFEM SlitValueRoutine 触发时提示文本缺失名称
- 新特性
- 新增配置对比功能,每次开RT时提示配置修改项,并在配置界面显示修改过的内容,并可以回退配置
- 每次配置文件变更都有备份,也可从本地进行修复
- interlock表更新 不同腔体开门时需要判断两个腔体压差在范围内
- 新增配置对比功能,每次开RT时提示配置修改项,并在配置界面显示修改过的内容,并可以回退配置
Version 1.1.31.50
2023-10-20
-
Bug修复
-
新特性
- 新增伊顿eaton UPS配置及监控,可在DEVICE界面查看
Version 1.1.31.49
2023-10-19
-
Bug修复
-
新特性
- 添加昂坤双通道获取温度
- 昂坤添加测温参数可配置
Version 1.1.31.48
2023-10-18
-
Bug修复
-
新特性
- 删除PM Interlock配置的DI-29
- PM K阀组增加V111控制
Version 1.1.31.46
2023-09-15
-
Bug修复
-
新特性
- interlock_bypass分腔体单独控制
- interlock表更新
-
不同recipe的data曲线数据对比功能
Version 1.1.30.46
2023-09-15
-
Bug修复
- 电阻丝加热,当设置为Warning时Log不输出问题修改
- 修改气体流量统计
-
新特性
- 添加PLC断联后自动重连,
- 优化水温查询时对应的名称
- 优化Charting查询对比功能,新增曲线可以上下左右移动对比
Version 1.1.29.45
2023-08-28
-
Bug修复
- 修正TM MFC60的Feedback和SetPoint差异超限后没有报警的问题
- 修正Aligner操作失败后,Aligner模组没有Alarm的问题
-
新特性
- Mfc Ror测试增加可选择多个Mfc同时测试功能
Version 1.1.29.44
2023-08-15
-
Bug修复
- 新特性
- Mfc Ror测试增加可选择多个Mfc同时测试功能
Version 1.1.29.43
2023-08-03
- Bug修复
- 修正DataLog重新查询数据曲线时,上次设定的Factor和Offset没有生效的问题
- 修复Recipe StepNo等工艺过程数据没有存储到数据库导致无法查询的问题
- 修正工艺过程数据(气体流量、耗电量)统计数值错误的问题
- 修正系统配置中缺少配置项导致程序无法执行的问题
- 修正 PM Operation视图中Heater电阻值显示精度不够的问题,现改为小数点后三位
- 新特性
- PM Process新增耗电量统计
- 移除PSU2控制输出幅度限制的功能
Version 1.1.28.42
2023-08-01
- Bug修复
- 无
- 新特性
- PM Operation视图增加加热器电阻值显示
- PM Process过程增加对加热器电阻值监测,当阻值超过上限后终止工艺
- PSU2增加控制量输出幅度限制,当温度超过1600度时,控制输出幅度限制到设定值
Version 1.1.27.41
2023-07-24
-
Bug修复
- 1.解决保存新列产生的问题
-
新特性
Version 1.1.27.40
2023-07-24
-
Bug修复
- 1.Mfc Ror属性Name增加DataMember
-
新特性
Version 1.1.27.39
2023-07-18
-
Bug修复
- 1.解决Mfc Ror测试的问题
-
新特性
- 重新整理数据库代码
Version 1.0.26.38
2023-07-03
- Bug修复
- 修正升级软件时新增权限实际值和设置值不一致的问题
- 新特性
- Auto传盘逻辑更新为双腔传盘逻辑
Version 1.0.25.37
2023-07-03
- Bug修复
- 修正TM和LL的LeakCheckRoutine无法执行的问题
- 修正PM气体流量计算时,修正系数未生效的问题
- 修正ProcessExit时的输出信息等级,由Warning更改为Info
- 修正ProcessMonitor窗口打开时,Logout时没有自动关闭该窗口的问题
- 新特性
- 优化旁路互锁打开时的执行逻辑
- 禁止手动启动工艺
- 禁止PM从Offline切换至Online
- 禁止PM退出Service模式
- LL Lid打开时输出信息等级由Warning更改为Info
- PM Process结束,磁流体转速将为0后的输出信息等级由Warning更改为Info
- 软件信息增加“Auto-GE”字串,指示当前版本为自动通用版
- 优化旁路互锁打开时的执行逻辑
Version 1.0.23.35
2023-06-30
- Bug修复
- 1:修正Seqence编辑器中无法保存Recipe的问题。
- 2:修正Recipe编辑器修改StepTime后不刷新总时间,以及加载Recipe后Validate按钮不显示错误参数数量的问题。
- 3:修正Recipe编辑器中的总时间显示不完全问题。
- 4:修正AbortRoutine()方法列队为空时调用Peek()方法导致异常的问题。
- 新特性
- 1:添加MFC+气阀测试功能
- 2:添加ROR测试功能
Version 1.0.22.34
2023-06-20
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:控制V94和V96阀时,对应的控制MFC设置为0
Version 1.0.21.33
2023-06-02
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:移植Coating
- 2:修改测温,添加兼容性参数配置
- 3:修正EFEM Online菜单标题显示为Buffer的错误
- 4:修改库文件,IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式
- 5:删除气阀和MFC联动功能,TM V60 , PM V96 V94
Version 1.0.20.32
2023-05-18
- Bug修复
- 修正寻边器无法完成寻边操作的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.19.31
2023-05-17
- Bug修复
- 修正从WaferRobot从Aligner取Wafer后,Wafer被删除的问题
- 修正Wafer拖放确认对话框箭头过长的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.18.29
2023-05-15
- Bug修复
- 修正上银巡边器无法Home的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.17.28
2023-05-15
- Bug修复
- 修正PM2卸载后相关设备仍然报警的问题
- 修改PM主界面V87气阀鼠标悬浮绑定的提示
- 修正Recipe编辑界面上的一些小问题
- 新特性
- 从10号机移至最新的Aligner驱动程序
Version 1.0.16.27
2023-05-08
- Bug修复
- 修正Alarm列表没有显示报警来源的问题
- 修正EventLog、系统配置表格单元格内容对齐问题
- 修正三色灯蜂鸣器手动关闭后,如果不按Reset按钮,则始终无法重新启用的问题
- 新特性
- 优化三色灯配置文件,现支持在配置文件中定义闪烁模式模板
- 新增三色灯配置文件实时生效功能,现在修改三色灯配置文件后不需要重启软件,保存后立即生效
Version 1.0.14.25
2023-05-05
- Bug修复
- 修正信号塔蜂鸣器手动关闭后无法启用的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.14.25
2023-05-05
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 优化三色灯控制效果
Version 1.0.13.24
2023-05-05
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 从PM腔取放Tray时根据系统配置确定PSU和SCR打开或关闭
Version 1.0.13.23
2023-04-26
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 传盘压力参数一键设置
Version 1.0.13.22
2023-04-23
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 优化参数项,删除多余参数
- 修改水温Offset选项
- 添加Coating增长率,Tray数量为参数配置
- 修改仿真初始值
Version 1.0.13.21
2023-04-20
- Bug修复
- 修正PM未安装时,仍然会触发报警的问题
- 新特性
- 更当水温报警相关参数变化时,实时生效,而不需要重启软件
- PM Heater界面的SCR Lower AE温度显示移至PSU Inner AE显示位置
- 优化PM Heater界面布局,移除多余的项目
Version 1.0.12.20
2023-04-20
- Bug修复
- 修正DataLog中的曲线图无法显示的问题
- 新特性
- 无
Version 1.0.11.19
2023-04-19
- Bug修复
- 修正水温报警输出DO的有效电平,当发生报警时,输出低电平
- 新特性
- 无
Version 1.0.10.18
2023-04-19
- Bug修复
- 修正主界面中LOG下拉框可能被撑大的问题
- 修正报警时蜂鸣器被自动关闭的问题
- 新特性
- 主窗口新增系统信息按钮,可查看发现日志和系统依赖库的版本信息
- 新增MFC和PC报警功能
- 新增系统配置中PC报警阈值设置
- 新增水温超温警告和报警功能,可在系统配置中设置Warn偏移值,使Warn阈值可以跟随Alarm阈值变动
- 优化水温显示窗口,产生警告或报警的项目会显示为橙色或红色
- 重新整理水温相关的DO、AI和系统配置项名称
Version 1.0.9.17
2023-03-22
-
Bug修复
- 无
-
新特性
- 合并PM,生成时会有XML文件路径问题
Version 1.0.8.16
2023-03-22
-
Bug修复
- 无
-
新特性
- 合并上银Tray和Wafer机械手,Tary继承Wafer
Version 1.0.7.15
2023-03-20
-
Bug修复
- 修改PM1的InterLock,
- 修改报警信息
- 修改仿真
- 修改测温硬件默认参数配置
-
新特性
- 无
Version 1.0.6.14
2023-03-20
-
Bug修复
- 从上层调用处修改PM屏蔽功能,屏蔽初始化和文件加载
-
新特性
- 无
Version 1.0.5.13
2023-03-20
-
Bug修复
- 删除之前此功能修改的代码
-
新特性
- 关闭阀门时,先关闭MFC,同时关闭阀门,已修改TM的 V77和MFC60,PM的MFC32 35~38,
Version 1.0.4.12
2023-03-16
-
Bug修复
- 无
-
新特性
- 重新整理所有UI继承的UIViewModelBase类
Version 1.0.3.11
2023-03-15
-
Bug修复
- 修改TMPurgeRoutine和TMVentRoutine时无气流BUG
- 调试仿真修改TM和PM对应的InterLock,根据InterLock需要的IO,设置仿真IO的初始值
- 添加昂坤测温通讯和使用流程简介,方便后续人员了解昂坤硬件使用机制
-
新特性
- 无
Version 1.0.2.10
2023-03-14
-
Bug修复
- 修改TM PM 的InteiLock
- PM DI55 56 57报警触发条件,修改仿真相应的初始值
- 删除MP DI58
-
新特性
- 添加测温Inner,
- 使用数据为空次数判断昂坤断联
- 分别添加昂坤软件断联和USB断联提示
- 界面添加Inner绑定显示
- 设置昂坤显示温度下限,低于下限显示固定值400
Version 1.0.1.9
2023-03-14
-
Bug修复
- 无
-
新特性
- 重新整理优化三色灯控制
Version 1.0.1.8
2023-03-09
-
Bug修复
- 修改PM DI10 DI11 InterLock的触发值,修改PM DI10 报警触发值
-
新特性
- 修改TM的PurgeRoutine和VentRoutine中,修改打开关闭MFC60相关设置,添加延时
Version 1.0.1.7
2023-03-09
-
Bug修复
- 修改TM DI6 InterLock的触发值
-
新特性
- Aligner设置项,在初始化和设置后显示到界面是
Version 1.0.1.6
2023-03-08
-
Bug修复
- 修改InterLock
-
新特性
- 添加对UPS电源部分数据的采集
Version 1.0.1.5
2023-03-07
-
Bug修复
- 解决TMRobot向Unload Place过程中Unload可能PrepareTransfer的问题
-
新特性
- 无
Version 1.0.1.4
2023-03-06
-
Bug修复
- 无
-
新特性
- 新增昂坤测温,初步优化断联重连和提示
- 添加接口,整合AE和昂坤测温,上层调用
Version 1.0.1.3
2023-03-03
- Bug修复
- 修正ENG模式下,一些页面没有显示ENG水印的问题。
- 新特性
- 无
Version 1.0.1.2
2023-03-03
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 增加ENG模式
Version 1.0.1.1
2023-03-01
-
Bug修复
- 屏蔽PM后,界面不隐藏,状态不更新,显示运行日志BUG修复
-
新特性
- 无
Version 1.0.1.0
2023-03-01
-
Bug修复
- 更新PM和TMinterlock信息,添加缺少的IO
-
新特性
- 无
Version 1.0.0.9
2023-02-28
-
Bug修复
- 根据Wafer夹爪信号让Load传Tray和Wafer信息,解决撞机风险
-
新特性
- Purge最大时间改为100000s
- PM Mfc14量程改为660
Version 1.0.0.8
2023-02-15
-
Bug修复
- 修改水路IO名称和Interlock
-
新特性
- 无
Version 1.0.0.7
2023-02-15
-
Bug修复
- 添加TM机械手报错信息解析
-
新特性
- 无
Version 1.0.0.6
2023-02-14
-
Bug修复
- 修正PM执行Recipe时报StepUid找不到执行函数的问题
-
新特性
- PM Purge结束增加是否打开
- 增加PM SCREnable Interlock
- 增加PM Service模式下不准切换Online
- ProcessAbort Rounite中增加等待MFC流量到达再往下执行
- ProcessAbort Routine中增加关闭V72,打开V25流程
- 优化电阻检测名称
- TM界面所有Module Online及Offline按钮权限放开
- 删除VacIdle参数
- 修改PM气路图的V72阀的气路走向错误
- 重新整理PM MO Change TMA/TCS Routine
- PM Vent及ToAtmIdle Routine MFC使用动态流量
Version 1.0.0.5
2023-02-13
-
Bug修复
- AE的历史数据从Charting拉不出来
- AE的数据不在PM模块,ProcessHistory中没有AE的数据
-
新特性
-
无
Version 1.0.0.4
2023-02-11
-
Bug修复
- 无
-
新特性
- Overview界面中将TrayCassette从WaferCassette中分离,独立显示在界面右侧
Version 1.0.0.3
2023-02-09
-
Bug修复
- 修改Unload和TM共用泵Interlock问题
-
新特性
- 无
Version 1.0.0.2
**2023-01-28 **
-
Bug修复
- 优化HWinRobot通讯,执行Pick和Place指令之前先查询控制器ERR。
- 修正HwinRobot命令返回?后无法正确读取Error信息的问题。
-
新特性
- 无
Version 1.0.0.1
2023-01-28
-
Bug修复
- 修改权限相关默认值
-
新特性
-
无
Version 1.0.0.0
2023-01-11
-
Bug修复
- 无
-
新特性
- 修改Unload和TM共用泵,涉及UI/Interlock及AutoRun流程
- 取消CoolingAndPurge Routine,Cooling和Purge分开