Liang Su 49f33fafb7 更新库文件（Commit dd997bd），优化IoMFC对象。 ... 系统配置中新增MFC60相关的配置参数，修正MFC60的Feedback和SetPoint差异超限后没有报警的问题。 TMModule中注册MFC60，修正MFC60报警后TM Module没有报警的问题。		2023-08-25 16:44:15 +08:00
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Routines	TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时，参考PM腔漏检的延时调用时机	2023-07-18 15:51:57 +08:00
SicTM.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
SicTMRobot.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
TMModule.cs	更新库文件（Commit dd997bd），优化IoMFC对象。	2023-08-25 16:44:15 +08:00
TMModuleBase.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00