HQQ f04658385a 添加IoN2HighDoping类，配置气阀控制PN2气体		2023-11-19 12:17:29 +08:00
Modules/Mainframe	添加IoN2HighDoping类，配置气阀控制PN2气体	2023-11-19 12:17:29 +08:00
SicRT	删除PM2多余Interlock配置项	2023-11-17 20:51:03 +08:00
SicSetup/Sic_Setup	修改安装脚本文件CVD.nsi的编码为UTF-8.	2023-07-03 17:13:47 +08:00
SicSimulator	C2H4修改为C3H8	2023-11-14 10:43:36 +08:00
SicUI	删除PM2多余Interlock配置项	2023-11-17 20:51:03 +08:00
ThirdParty/MECF.Framework	1.更新Common库	2023-11-17 14:29:51 +08:00
.gitattributes	Add .gitattributes and .gitignore.	2023-03-03 15:42:00 +08:00
.gitignore	移除PM Heater视图中配置PSU2输出限制的功能。	2023-08-04 16:08:55 +08:00
SicAutoGE.sln	解决方案更名为SicAutoGE，以标识此项目针对含EFEM的自动设备。	2023-07-03 16:07:32 +08:00