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Sic 系统更新历史记录
Version 1.0.1.8
2023-03-09
- Bug修复
- 1.修改PM DI10 DI11 InterLock的触发值,修改PM DI10 报警触发值
- 新特性
- 1.修改TM的PurgeRoutine和VentRoutine中,修改打开关闭MFC60相关设置,添加延时
Version 1.0.1.6
Version 1.0.1.7
2023-03-09
- Bug修复
- 1.修改TM DI6 InterLock的触发值
- 新特性
- 1Aligner设置项,在初始化和设置后显示到界面是
Version 1.0.1.6
2023-03-08
- Bug修复
- 1.修改InterLock
- 新特性
- 1添加对UPS电源部分数据的采集
Version 1.0.1.5
2023-03-07
- Bug修复
- 1.解决TMRobot向Unload Place过程中Unload可能PrepareTransfer的问题
-
新特性
Version 1.0.1.4
2023-03-06
- Bug修复
- 无
- 新特性
- 1:新增昂坤测温,初步优化断联重连和提示 2:添加接口,整合AE和昂坤测温,上层调用
Version 1.0.1.3
2023-03-03
- Bug修复
- 修正ENG模式下,一些页面没有显示ENG水印的问题。
-
新特性
Version 1.0.1.2
2023-03-03
-
Bug修复
- 新特性
- 增加ENG模式
Version 1.0.1.1
2023-03-01
-
Bug修复
- 屏蔽PM后,界面不隐藏,状态不更新,显示运行日志BUG修复
-
新特性
- 无
Version 1.0.1.0
2023-03-01
-
Bug修复
- 更新PM和TMinterlock信息,添加缺少的IO
-
新特性
- 无
Version 1.0.0.9
2023-02-28
-
Bug修复
- 根据Wafer夹爪信号让Load传Tray和Wafer信息,解决撞机风险
-
新特性
- Purge最大时间改为100000s
- PM Mfc14量程改为660
Version 1.0.0.8
2023-02-15
-
Bug修复
- 修改水路IO名称和Interlock
-
新特性
- 无
Version 1.0.0.7
2023-02-15
-
Bug修复
- 添加TM机械手报错信息解析
-
新特性
- 无
Version 1.0.0.6
2023-02-14
Bug修复
-
修正PM执行Recipe时报StepUid找不到执行函数的问题
-
新特性
-
1.PM Purge结束增加是否打开Final阀功能
-
2.增加PM SCREnable Interlock
-
3.增加PM Service模式下不准切换Online功能
-
4.ProcessAbort Rounite中增加等待MFC流量到达再往下执行
-
5.ProcessAbort Routine中增加关闭V72,打开V25流程
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6.优化电阻检测名称
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7.TM界面所有Module Online及Offline按钮权限放开
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8.删除VacIdle参数
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9.修改PM气路图的V72阀的气路走向错误
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10.重新整理PM MO Change TMA/TCS Routine
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11.PM Vent及ToAtmIdle Routine MFC使用动态流量
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Version 1.0.0.5
2023-02-13
-
Bug修复
- AE的历史数据从Charting拉不出来
- AE的数据不在PM模块,ProcessHistory中没有AE的数据
-
新特性
-
无
Version 1.0.0.4
2023-02-11
- Bug修复
- 无
- 新特性
- Overview界面中将TrayCassette从WaferCassette中分离,独立显示在界面右侧
Version 1.0.0.3
2023-02-09
- Bug修复
- 修改Unload和TM共用泵Interlock问题
- 新特性
- 无
Sic07 2023-01-28 Version 1.0.0.2 1优化HWinRobot通讯,执行Pick和Place指令之前先查询控制器ERR。 2修正HwinRobot命令返回?后无法正确读取Error信息的问题。
Sic07 2023-01-28 Version 1.0.0.1 1.修改权限相关默认值
Sic07 2023-01-11 Version 1.0.0.0 1.修改Unload和TM共用泵,涉及UI/Interlock及AutoRun流程 2.取消CoolingAndPurge Routine,Cooling和Purge分开