项目
- Sic_CVD06
1.PM1、PM2双腔
2.Wafer Robot和Tray Robot
3.TM Robot
3.Aligner
4.Load/Unload/Buffer
5.基恩士CCD - SIC-CVD 033
中电化合物033机台
- SIC-CVD021
中电021机台日志
- SIC-CVD030
030机台客户现场日志
- SiC-CVD10
2023/5/1， 于厦门瀚天开始装机项目
- SIC-CVD19
南京百识19号机安装调试进度
- 天科SIC15装机日志
天科SIC15装机事项记录
- 鹏进47号机安装调试记录
鹏进47号机安装调试记录
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