概述
1.PM1、PM2双腔
2.Wafer Robot和Tray Robot
3.TM Robot
3.Aligner
4.Load/Unload/Buffer
5.基恩士CCD
成员
管理人员: HanHans, 万学辉, 严鹏, 向阳, 吴涛, 张勇, 曹毅, 杜昌, 洪膺, 焦顺平, 王威威, 王骜, 苏亮, 贺常乐, 赵中源, 韩强强, 顾世永, 电气, 设备-客服部门, 软件开发部门
开发人员: HanHans, 万学辉, 严鹏, 向阳, 吴涛, 张勇, 曹毅, 杜昌, 洪膺, 焦顺平, 王威威, 王骜, 苏亮, 贺常乐, 赵中源, 韩强强, 顾世永, 电气, 设备-客服部门, 软件开发部门
设备人员: HanHans, 万学辉, 严鹏, 向阳, 吴涛, 张勇, 曹毅, 杜昌, 洪膺, 焦顺平, 王威威, 王骜, 苏亮, 贺常乐, 赵中源, 韩强强, 顾世永, 电气, 设备-客服部门, 软件开发部门
报告人员: HanHans, 万学辉, 严鹏, 向阳, 吴涛, 张勇, 曹毅, 杜昌, 洪膺, 焦顺平, 王威威, 王骜, 苏亮, 贺常乐, 赵中源, 韩强强, 顾世永, 电气, 设备-客服部门, 软件开发部门