洪膺
- 登录名: hy
- 注册于: 2022-01-23
- 最后登录: 2023-03-27
问题
| 打开 | 已关闭 | 合计 | |
|---|---|---|---|
| 被指派的问题 | 0 | 0 | 0 |
| 已报告的问题 | 6 | 0 | 6 |
项目
| 项目 | 角色 | 注册于 |
|---|---|---|
| Sic_CVD06 | 管理人员, 开发人员, 设备人员, 报告人员 | 2022-12-08 |
活动
2023-01-14
- 17:01 Sic_CVD06 错误 #478 (新建): 更新Interlock
- 更新Interlock
1、删除DI323、DI324、DI325与DO57、DO58、DO59的互锁
2、添加DI323、DI324、DI325与DO134、DO135、DO136的互锁
2022-12-20
- 17:20 Sic_CVD06 错误 #434 (新建): 设备现场安装调试进度
- TM向LL传盘出错
1、当LL为大气状态时，从TM向LL传盘，TM会报错（压差），LL不会自动Pump到传盘压力，如果先把LLPump到真空，再执行传盘就ok了
2022-12-13
- 18:51 Sic_CVD06 错误 #429 (新建): Interlock更新
- Interlock更新
- 18:50 Sic_CVD06 错误 #428 (新建): 冷却水路相关信息再优化
- 冷却水路相关信息优化
1、优化UI界面显示
2、优化配置信息
3、优化IO名称 - 16:21 Sic_CVD06 错误 #427 (新建): Aligner模块信息有误
- Aligner模块信息有误
1、Aligner模块不能创建wafer
2、Aligner位置不能放Tray，右击又删除tray的功能
3、模块在online情况下，不应该可以创建或删除信息
2022-12-08
- 14:33 Sic_CVD06 错误 #423 (新建): 冷却水路相关信息优化
- 冷却水路相关信息优化
1、优化UI界面显示
2、优化配置信息
3、优化IO名称
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